微量氧分析仪主要半导体元件用热敏元件和所述金属电阻丝的类型。敏感半导体元件小，热惯性小，大的电阻温度系数，高的灵敏度，一个小的时间滞后。在铂线圈作为传感元件，则内电阻，围绕作为补偿元件的非反应性气体的交界处材料的金属氧化物烧结珠等于铂相同体积的发热线圈。构成该臂作为一个桥式电路，即，一个测量电路这两个部件。金属氧化物半导体气体传感元件吸附法测定的，并发生变化的电导率的速率即，散热元件的状态也改变。在铂线圈的可变电阻的温度变化，则存在在电桥输出电压，从而能够检测气体浓度的不平衡。微量氧分析仪的应用非常广泛，除了通常用于分析氢，氨，二氧化碳，二氧化硫含量和低浓度的可燃气体，也可作为色谱检测分析器，用于分析的其他组件。
当我们用微量氧分析仪测量氧含量时数值飘移不定，出现分析结果数据不准确。其主要原因是氧气分析仪使用不当造成，以下仅谈几点影响测定的因素：
1.氧气测定仪上的过滤器要洁净。每使用过一段时间就要清洗过滤器或者更换过滤器来确保测得数值不飘移，只有这样才能保证氧气测定仪不被影响，所得数据正确。
2.氧气测定仪的环境破坏。在使用氧气测定仪时，环境的好坏也会对传感器进行一定的干扰，适当的清理灰尘和清除污渍，这样对传感器的寿命也会增长使用。
3.管道材质的选择。管道材质及表面的湿度也将影响样气中氧含量的变化。一般不宜用塑料管，橡胶管等作为连接管路。通常选用不锈钢管和四氟管。
4.氧气测定仪的泄漏。氧气测定仪在初次启用前必须严格检漏。氧分析仪只有在严密不漏的条件下才能获得正确的数据结果。任何连接点，焊点，阀门等处的不严密，将会导致空气中的氧反渗进进管道及氧分析仪内部，从而得出含氧量偏高的结果。
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